クリーンルーム

清浄な環境で半導体プロセスを行うためのクリーンルーム．クラス1,000と10,000の2種類の部屋があり，本研究室の他に菅原研，吉川研，竹村研などが利用している．（クラスとは，1立方フィートの体積にある直径0.1ミクロン以上の塵の数を表す．普通の部屋はおよそクラス1,000,000）