マイクロマシーン技術を用いた光偏向
鏡の向きを変えれば光の方向を変えることはたやすい．しかしこれを任意に高速に行うことは以外に難しい． プリンタやバーコードリーダ，ディスプレーに用いられるポリゴンミラー，ガルバノスキャナは 回転・振動を利用した機械であるが，大きく，遅く，自由度が低いという問題を解決する技術が 見つかっていない．本研究ではマイクロマシーン技術を利用して小さく，速く，アナログ動作可能な光偏向素子を実現し，レ−ザとレンズ，偏向素子をワンチップ実装することで，上の目的や自由空間光接続，光センサなどに幅広く応用することを目的としている．
レ−ザビームの偏向の様子．2mm角程度の素子により，10V以下の電圧で最大速度3kHzで数度の偏向角が得られる．
1996年度牧，1997年度山田,
1998年度〜平井，木下