machinem.gif研究設備


    

    

 

btngren.gif光集積回路評価システム

btngren.gif電気信号・高周波回路評価装置

btngren.gifプロセス設備

 

光透過特性評価システム
分散特性評価システム
光集積回路評価システム
光変調器評価システム
光レーダー評価システム
狭線幅高出力可変波長レーザシステム(4チャンネル)
狭線幅高出力可変波長レーザシステム(FM変調機能付き)
狭線幅連続可変波長レーザシステム
超広帯域連続可変波長レーザシステム
連続可変波長レーザシステム×4
可変波長パッシブモードロックファイバレーザ
可変波長可変周波数アクティブモードロックファイバレーザ
超高感度光スペクトラムアナライザ×3
超高分解能光スペクトラムアナライザ
高分解能光スペクトラムアナライザ×2
可変波長フィルタつき光スペクトラムアナライザ
光サンプリングオシロスコープ (分解能1ps)
光変調アナライザ(QPKS, QAM, PAM対応, 32G
光パルスアナライザ
分散アナライザ(フィルタ機能付き)
自己相関パルス測定システム×2
相互相関パルス測定システム
スーパーコンティニューム発生器
LC
バンド光ファイバブースタ増幅器
LC
バンド光ファイバ前置増幅器
LC
バンド光ファイバ増幅器
C
バンド超低雑音光ファイバ前置増幅器
C
バンド超短パルス光ファイバブースタ増幅器×4
C
バンド超短パルス偏波保持光ファイバブースタ増幅器
C
バンド超短パルス光ファイバ前置増幅器
L
バンド光ファイバ増幅器×2
S
バンド光ファイバ増幅器
LC
バンド波長・バンド幅可変フィルタ×2
LC
バンド偏波保持波長・バンド幅可変フィルタ
C
バンドLCOSプログラマブル波長フィルタ・分散補償器
C
バンドLCOSプログラマブル波長フィルタ×2
S
バンド波長・バンド幅可変フィルタ可変分散補償器
偏光制御素子×6,偏光分析装置(ポーラリミタ)
赤外InGaAsカメラ×7,赤外ビジコンカメラ×2
広帯域OE変換器(50G),(30G)×3,(15G
超広範囲可変光遅延器(2ns),可変光遅延器×2
プログラマブル可変アッテネータ×2,可変光アッテネータ×2
光パワーメータ×9,光チャンネルセレクタ×7
高非線形ファイバー,分散補償ファイバー
レンズ付き集光モジュール >15
各種カップラー >10個,サーキュレータ×4
各種パッチファイバ >150
ファイバスコープ,ファイバ断線チェッカ×3
ファイバカッタ,ファイバリムーバ

PPG / BERT 40G周辺のみ, 10G周辺のみ)
PPG / BERT
32G, 2チャンネル同期)
PPG / BERT
12.5G, 2チャンネル同期)
PPG / BERT
25G
任意波形発生器AWG60GS, 4チャンネル同期)
広帯域シグナルジェネレータ(20G2G
汎用シグナルジェネレータ×2
USB
制御シグナルジェネレータ×10
高周波ネットワークアナライザ(40G
低周波数ネットワークアナライザ(500M以下)
広帯域スペクトラムアナライザ(25G
広帯域サンプリングオシロスコープ(50G
リアルタイムオシロスコープ(12G
オシロスペクトラムアナライザ
汎用オシロスコープ×4
バイアス内臓高周波アンプ(30G)×8
高周波アンプ(40G×210G×42G×4
高周波マイクロプローブシステム
バイアスT×4,高周波スプリッタ×4,高周波ディバイダ×4
パワーメータ(160G
高周波ケーブル(K, SMA, BNC>50
マルチチャネルDC電源(最大45チャネル)
定電圧電源 > 20
汎用ボンディング装置,プリント基板

btngren.gifコンピュータ,ソフト,汎用機器

計算用コンピュータ(約70ノード)
パーソナルコンピュータ×〜25
4K
ディスプレイ×6WQHDディスプレイ×5
WUHGA
Full HDディスプレイ多数
カラープリンタ×3,モノクロプリンタ×2
3D
プリンタ,TEPRAプリンタ
光伝搬,光モード,フォトニックバンド解析ソフト
  (R-Soft FullWAVEFemSIM×5DiffractMOD×1
光伝搬,フォトニックバンド,半導体特性,熱特性解析ソフト
  (Lumerical×2+計算エンジン×50
電磁波,熱特性解析ソフト(Femtet×1
光線追跡ソフト(LightTools×1
回路パターン作成用CADソフトウェア
GDSII
フォーマット変換ソフトウェア
GDSII
パターンビュア
画像解析システム
一眼レフカメラ,高画素数ディジタルカメラ×3
大型デシケータ×4
カメラ搭載微分干渉明暗視野落射透過光学顕微鏡
カメラ搭載明暗視野光学顕微鏡×2
実体顕微鏡,USB顕微鏡

クリーンルーム(クラス100001000
電界放射型電子ビーム描画装置150kV,測長付き)
電界放射型電子ビーム描画装置250kV
電子ビーム描画用CADシステム
誘導結合プラズマエッチング装置1(半導体用)
誘導結合プラズマエッチング装置2(誘電体用)
電子サイクロトロン共鳴プラズマエッチング装置
原子層堆積装置(有機膜対応,6ライン)
真空蒸着装置 ×2
マグネトロンスパッタ装置,簡易金属コータ
赤外ランプアニール装置 ,抵抗加熱炉
超純水製造装置 ×2,ドラフトチャンバ×4
高精度ウエハスクライバ,研磨設備

btngren.gifプロセス評価装置

電界放射型走査電子顕微鏡
エネルギー分散型X線分析装置
分光エリプソメーター(分解能0.1nm
レーザ干渉段差測定光学顕微鏡
時間分解蛍光寿命測定システム
近赤外用高感度高速光電子増倍管
近赤外用高感度光電子増倍管青紫超高出力半導体レーザ×2
青紫高出力半導体レーザ
短パルスモードロック半導体レーザ
高出力YAGレーザ,短パルスYAGレーザ
半導体レ−ザパルス励起光源×4
高輝度LED励起光源

btngren.gifバイオ関連装置

顕微PL装置×2,可搬型顕微PL装置
ゼータ電位測定システム
電気化学アナライザ
液体窒素冷却InGaAsリニアーアレイ分光システム
-80℃冷却赤外InGaAsカメラシステム
冷却型CCDカメラ付き蛍光顕微鏡
簡易プラズマ親水化装置
加熱滅菌装置
マイクロプレートリーダー
pH
メーター
PDMS
マイクロ流路
ボルテックスミキサー,シェイカー
ピペッター×10
バイオフリーザ(-80℃,-20℃)

 


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