ディスク集積型近接場センサ
ディスクレ−ザに微細な凹凸物体を近づけると，エバネセント波が乱されてレーザ光強度が変化する．この変化を観測すれば，表面形状を知ることができる．理論的には光学顕微鏡の10倍近い表面情報を読みとることが可能と予測しており，次世代光メモリの読み取りヘッドとしても期待している．実際にこのプローブを製作したところ，理論通りの超高分解能（波長の1/8）で近接物体を関知することができた．さらに2次元走査を行うことで，物体の二次元イメージングにも成功．
左はマイクロディスクレ−ザの共振モード分布．周りにしみ出す光が微細な凹凸を感知する．右はディスクとドライバ回路を集積化したプローブアレイの概念．超高速読みとりを可能にする．
光はディスクプローブの測定の様子，右はプローブが読みとった金属針先端の様子（2ミクロン角）．青い部分が先端で，左の赤い部分は針によって光が散乱されている様子を表している．
1997〜1999年度坂井，山田